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单晶炉长晶原理是什么

[2014/4/10]

     在单晶炉中可以进行一些操作，如果把高纯度的多晶硅原料放在高纯度的石英坩埚中，通过加热器的作用，就会产生高温，这样就会把它熔化。如果对熔化的硅液进行降温处理，就会产生一定程度的过冷度，然后再使用一个硅单晶体插在熔体的表面，需要使用固定在籽晶轴上的硅单晶体。可以等这籽晶可以和熔体相融合之后，然后慢慢的往上拉动籽晶。然后晶体就会在慢慢的生长，可以生长成为直径3至5毫米的细颈。

 

    这个细颈可以消除高温溶液产生的强烈的冲击作用，这样就会形成一个错位，这个过程就是引晶。然后可以把晶体的直径放大，将其放大到工艺所要求的大小就可以，一般来说，这个长度是75至300毫米，专业术语则可以把它称为放肩。如果突然将拉速提高的话，使肩部形成一个直角。然后单晶炉就会进入等径工艺，通过对热场温度和晶体来提升下速度，这样就会生成一定大小的单晶柱体。
    如果很多硅溶液已经完成了结晶，就可以把晶体慢慢的缩小，直到缩小为一个尾形的椎体就可以了，一般这个尾形椎体也被称为收尾工艺。这样就可以把单晶的拉制过程完成操作，然后再经过一定的保温冷却就可以将其取出来了。
编辑：wq
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